【超精密位置決めピエゾステージ】PU超精密加工用タイプ　XY軸 THKプレシジョン

超精密切削におけるマイクロ・ナノ加工が実現！ストロークは30μmと60μmがございます。

ピエゾステージ　PU超精密加工用タイプは、軸超精密加工への応用に最適です。
FTS（ファストツールサーボ）としてバイトの切り込みや、ワーク（加工物）の移動に
用いて精密金型加工が実現できます。
他のタイプと比較して、数倍大きな発生力をもつ積層型圧電素子を搭載しています。

■防塵防滴の対策
密閉構造で加工液やミスト対策を施しており、小さな切削屑などの侵入を防ぎます。

■堅牢な本体
加工時の安定性を確保するため、本体材質に鋼材を採用。
ビビリ振動などで加工精度を損なうことのない堅牢構造となっています。

※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

関連リンク - https://www.thkprecision.co.jp/product/piezo/50

基本情報【超精密位置決めピエゾステージ】PU超精密加工用タイプ　XY軸

【特長】
○防塵・防滴対策
○大発生力圧電素子
○高剛性

【仕様】
○XY軸高速駆動　PU2H60F-012U
→ストローク：12/12nm
→分解能：1nm
→繰り返し精度：±1nm
→共振周波数：3100Hz
→本体サイズ：60×60×40mm
○XY軸精密位置決め　PU2L90F-030U
→ストローク：30/30nm
→分解能：1nm
→繰り返し精度：±1nm
→共振周波数：890Hz
→本体サイズ：90×90×37mm

※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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用途／実績例	【用途例】ダイヤモンドバイト送り微細切削、研削加工高速工具制御ワーク位置決め精密金型加工高荷重物の精密位置決め詳しくはお問い合わせください。

取扱企業【超精密位置決めピエゾステージ】PU超精密加工用タイプ　XY軸

THKプレシジョン株式会社

圧電アクチュエータを主な駆動源としたナノメートルの超精密位置決めユニットの専門メーカーとして、半導体や液晶、超精密加工、光ピックアップ、プローブ顕微鏡、光デバイスなど、検査・測定から製造装置にいたるまで様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。　また、μN～mNレベルの微小な力を検知測定するフォースセンサも製造・販売しています。　カタログ標準品だけでなく、個別仕様に合わせたカスタマイズにも短納期で対応可能です。