THKプレシジョン株式会社　製品総合カタログ　2021 Vol.7

最高1nm分解能をもち、応答性にも優れたTHKプレシジョンの『超精密位置決めピエゾステージ　総合カタログ』です。

豊富なラインナップで幅広い用途に最適な「ベーシックタイプ PS」
顕微鏡との組合わせや光透過型デバイスに最適な「開口付きタイプ PK」
対物レンズの焦点合わせに最適な「対物レンズタイプ PF」
アライメントや面合わせに最適な「チルト・回転タイプ PT」
超精密切削におけるナノ・マイクロ加工に最適な「精密加工タイプ PU」
変位センサを用いてクローズドループ制御で駆動する「コントローラ NC」
電圧を印加してオープンループ制御で駆動する「ドライバ PH」など、

多数掲載されています。
「PDFダウンロード」より無料進呈中です。 （詳細を見る）

最高1nmの分解能をもった超高分解能・高速応答のピエゾステージです。
内蔵変位センサによるフィードバック制御で信頼性の高い位置決めを行うことが出来ます。

【使用例】
■半導体･液晶検査装置、干渉計機器、分析装置、顕微鏡レンズフォーカス、超精密加工、レーザー関連機器、ナノメータポジショニングなど・・・

【ここが選ばれる理由】
■1品からのカスタム対応
■真空・非磁性対応可
■組み合わせユニット対応

豊富なラインナップ、応用例を多数掲載中！
詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。 （詳細を見る）

■2つの機構で性能分類
高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。

直接駆動機構
・圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。
・ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。
・剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。

変位拡大機構
・圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。
・拡大率により、直接駆動の数倍～十数倍のストロークが得られます。
・内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

■コンパクトから大開口まで
小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。

■スムーズで精確なスキャニング
高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

■弾性ヒンジ機構による回転案内
独自設計の弾性ヒンジ機構により、ピエゾ素子のわずかな伸縮を変位拡大するとともに安定した回転動作を支持しています。
摩擦摩耗がないため滑らかで高速な動きに優れており、微小角の調整用途に適しています。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

■大径ミラーにもカスタム対応
駆動源のピエゾ素子は高い発生力（数百Nクラス）を持っているため、重量のある大径ミラーでも安定して高精度に位置決めが可能です。

■角度制御も容易
角度を数値指定して移動させる「静的動作」も、連続的に往復振動させる「振動動作」も、コントローラ／ドライバを介して簡単に行えます。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

■各メーカの対物レンズが取り付け可能
・各メーカのレンズねじ径に適合できるよう4種類のねじサイズから選択できます。
・別売で“ねじ径変換アダプタ”も用意しています。
・規格外のレンズの取り付けもご相談ください。

選べる4つのタイプ
【横型タイプ】
・本体の厚みを抑えた構造です。
・ストロークのバリエーションが豊富で、長い移動量を必要とする場合はこのタイプから選定します。

【縦型タイプ】
・剛性が高く応答性を重視したタイプです。
・重いレンズや鏡筒の長いレンズを使用する場合、あるいは高速フォーカスを求める場合に適しています。

【箱型タイプ】
・対物レンズを中心とした対称形両持ち構造とし、高重量のレンズでも安定したフォーカスが行えます。
・4本のねじで確実に設置固定でき、製造装置や検査装置への組み込み搭載に適しています。

【鏡筒用】
・顕微鏡の鏡筒を取り付けてフォーカス方向に微調できます。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

精密切削におけるナノ・マイクロ加工を実現するステージです。
工具の切り込みやワーク（加工対象物）を高速・高精度に位置制御できます。
FTS（ファストツールサーボ）としてバイトの切り込みや、ワーク（加工物）の移動に用いて精密金型加工が実現できます。

■防塵防滴の対策
密閉構造で加工液やミスト対策を施しており、小さな切り屑などの浸入も防ぎます。

■堅牢な本体
加工時の安定性を確保するため本体材質として鋼材を使用。
ビビリ振動や切削負荷などにより加工精度を損なうことのない堅牢な本体構造となっています。

※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）

ピエゾステージ　PU超精密加工用タイプは、軸超精密加工への応用に最適です。
FTS（ファストツールサーボ）としてバイトの切り込みや、ワーク（加工物）の移動に
用いて精密金型加工が実現できます。
他のタイプと比較して、数倍大きな発生力をもつ積層型圧電素子を搭載しています。

■防塵防滴の対策
密閉構造で加工液やミスト対策を施しており、小さな切削屑などの侵入を防ぎます。

■堅牢な本体
加工時の安定性を確保するため、本体材質に鋼材を採用。
ビビリ振動などで加工精度を損なうことのない堅牢構造となっています。

※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）