【超精密位置決めピエゾステージ】対物レンズフォーカス用 THKプレシジョン

対物レンズの焦点調整用に専用設計したピエゾステージ

■各メーカの対物レンズが取り付け可能
・各メーカのレンズねじ径に適合できるよう4種類のねじサイズから選択できます。
・別売で“ねじ径変換アダプタ”も用意しています。
・規格外のレンズの取り付けもご相談ください。

選べる4つのタイプ
【横型タイプ】
・本体の厚みを抑えた構造です。
・ストロークのバリエーションが豊富で、長い移動量を必要とする場合はこのタイプから選定します。

【縦型タイプ】
・剛性が高く応答性を重視したタイプです。
・重いレンズや鏡筒の長いレンズを使用する場合、あるいは高速フォーカスを求める場合に適しています。

【箱型タイプ】
・対物レンズを中心とした対称形両持ち構造とし、高重量のレンズでも安定したフォーカスが行えます。
・4本のねじで確実に設置固定でき、製造装置や検査装置への組み込み搭載に適しています。

【鏡筒用】
・顕微鏡の鏡筒を取り付けてフォーカス方向に微調できます。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報【超精密位置決めピエゾステージ】対物レンズフォーカス用

【製品応用例】
・高速フォーカス
・画像処理機器
・共焦点顕微鏡
・レーザ加工
・半導体、FPD装置
・干渉計形状測定

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ラインナップ

型番	概要
PFH 横型タイプ
PFV 縦型タイプ
PFB 箱型タイプ
PFR 鏡筒用

取扱企業【超精密位置決めピエゾステージ】対物レンズフォーカス用

THKプレシジョン株式会社

圧電アクチュエータを主な駆動源としたナノメートルの超精密位置決めユニットの専門メーカーとして、半導体や液晶、超精密加工、光ピックアップ、プローブ顕微鏡、光デバイスなど、検査・測定から製造装置にいたるまで様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。　また、μN～mNレベルの微小な力を検知測定するフォースセンサも製造・販売しています。　カタログ標準品だけでなく、個別仕様に合わせたカスタマイズにも短納期で対応可能です。