【超精密位置決めピエゾステージ】開口付きステージ THKプレシジョン

レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに好適

■コンパクトから大開口まで
小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。

■スムーズで精確なスキャニング
高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。

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基本情報【超精密位置決めピエゾステージ】開口付きステージ

【製品応用例】
・走査型プローブ顕微鏡
・顕微鏡試料テーブル
・分光分析機器
・半導体、FPD関連装置
・露光装置
・マッピング測定

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ラインナップ

型番	概要
PK1L 開口付きX軸ステージ
PK2H / PK2L 開口付きXY軸ステージ
PKVH / PKVL 開口付きZ軸ステージ
PK3H / PK3L 開口付きXYZ軸ステージ

カタログ【超精密位置決めピエゾステージ】開口付きステージ

THKプレシジョン株式会社　製品総合カタログ　2021 Vol.7

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取扱企業【超精密位置決めピエゾステージ】開口付きステージ

THKプレシジョン株式会社

圧電アクチュエータを主な駆動源としたナノメートルの超精密位置決めユニットの専門メーカーとして、半導体や液晶、超精密加工、光ピックアップ、プローブ顕微鏡、光デバイスなど、検査・測定から製造装置にいたるまで様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。　また、μN～mNレベルの微小な力を検知測定するフォースセンサも製造・販売しています。　カタログ標準品だけでなく、個別仕様に合わせたカスタマイズにも短納期で対応可能です。