ALIO Industries　ヘキサポッド ステージ

PRALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッド！360°回転…

ALIO Industries社のパテントテクノロジー。 パラレルキネマティックの自由度とシリアルキネマティックの精度・剛性を融合した新しいタイプのヘキサポッド "Hybrid Hexapod"。 その大きな特徴は長ストロークのヘキサポッドながら、スタンダードでも、±80nmの繰り返し精度を達成している点にあります。 従来のシステムに対して、コンパクト・高剛性・長ストローク・高精度という、大...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

XＹθステージ　NAF3シリーズ

電動アクチュエータを平面上に配置した超薄型ステージ

スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 また3つのアクチュエータを同一平面上に配置した為、低重心・超薄型シンプル構造を実現。装置の小型化に貢献します。...【特徴】 ○3つのアクチュエータを同一平面上に配置することにより超薄型シンプル構造を実現。 ○「予...

メーカー・取り扱い企業： ヒーハイスト株式会社 本社・埼玉工場