ALIO Industries　ヘキサポッド ステージ

PRALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッド！360°回転…

ALIO Industries社のパテントテクノロジー。 パラレルキネマティックの自由度とシリアルキネマティックの精度・剛性を融合した新しいタイプのヘキサポッド "Hybrid Hexapod"。 その大きな特徴は長ストロークのヘキサポッドながら、スタンダードでも、±80nmの繰り返し精度を達成している点にあります。 従来のシステムに対して、コンパクト・高剛性・長ストローク・高精度という、大...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

ShielDEnvironmentマニュアルシステム

-60～300℃の温度範囲で低ノイズ、低リーク測定が可能！

最大8インチウェハ対応 　・低ノイズ、低リーク測定が可能 ■「TS300-SE」 　・最大12インチウェハ対応 　・様々な測定やセッティングに対応可能な広いプラテン 　・操作性に優れたXYステージコントロール（ロック機能付） 　・大型ながら容易な操作が可能　 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ベクターセミコン株式会社