『PLマッピング装置』

フルオートメーション化可能！充実したマッピングができる装置

『PLマッピング装置』は、LED/LD生産のための2,3,4インチウェハ のフォトルミネッセンスおよび膜厚マッピング測定を行う装置です。 自動XYステージ、オリジナルの多機能測定ソフトウェアにより 充実したマッピングが行えます。 また、ウェハ自動供給・収納機構の接続によりフルオートメーション化 が可能です。 【特長】 ■2,3,...

メーカー・取り扱い企業： ユアサエレクトロニクス株式会社