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顕微鏡メーカーを問わず搬送可能!
『YATシリーズ』は、顕微鏡メーカーを問わず、検査側に ウエハ・ガラス関連製品を自動搬送・自動撮影できるシステムです。 自動ステージとの組合せでフルオート搬送でき、マニュアル搬送モード 単体機としても搬送可能です。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【特長】 ■専用ソフトウエアによるカセット単位での完全自動搬送 ■搬送側での測定ウエハの選択・マニュアル搬送可能...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヤマトハンズ
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