コインスタック梱包・開梱装置『PT150/200/300』

クリーン度はClass10対応！薄型ウェハー対応のコインスタック梱包・…

『PT150/200/300』は、極薄ウェハーから標準ウェハーまでウェハーを ベルヌーイ・エンドイフェクターで非接触自動搬送しコインスタック（横置き） 梱包、開梱する装置です。 コインスタック（横置き）式出荷ボックス、キャリア（FOUP、カセット）間の 詰め替えが自動で行えます。 メーカーを問わず、多種コインスタック（横置き）梱包ボックス、インサート （ウェハー間の保護紙、フィ...

メーカー・取り扱い企業： デリクソンテクノロジージャパン株式会社