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極限の平面度を追求します!
◆平面度 30nm以下◆ 弊社独自の超精密ラップ加工により、極限の平面度を実現いたします。 例えば50φの領域において平面度30ナノの精度が実現可能です。 この技術は特に高度な平面が要求される半導体装置部品や吸着プレート、精密ステージなどでも役立てられています。 ex) 平面度0.1um(φ100エリア) ...~対応材質~ 金属:ステンレス、ニッケル、銅、アルミ、モリブデン、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ティ・ディ・シー
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