膜厚2Dマッピングシステム　FALCO

PR薄膜の厚さ分布を高速測定！

FALCO 膜厚2Dマッピングシステムは、おもにガラスや半導体ウェーハ上に形成された薄膜の厚さ分布を高速に、 また高い分解能で測定することのできるシステムです。 条件にもよりますが、数nmの薄膜からμmオーダーの比較的厚い領域（Si 換算）まで、 高い精度で値を確定することができます。...分解能: 0.001 nm 精度: NIST準拠ウェハ1000 nm<±1% 再現性: 0.01 nm(ア...

メーカー・取り扱い企業： オプトシリウス株式会社

シンプルで使いやすい協働ロボット『LBR iisy』

PR人と直接作業ができる！シンプルなプログラミングにスムースなハンドガイデ…

『LBR iisy』は、自動化された生産現場ではオールラウンダーのコボット、 協働ロボットです。 スマート・デバイスの直感的で柔軟性の高さに加えて、インダストリアル・ オートメーションでのノウハウ、正確さ、信頼性を兼ね備えております。 自動化された複雑な環境でも、作業員同士が相互にやり取りをするような 非構造的な環境でも、気軽にご利用いただけます。また、箱から出して ものの数分...

メーカー・取り扱い企業： KUKA Japan株式会社

GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-800シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そして...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1900

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasPro 高温用ガスフィルター　TEM-700シリーズ

最高使用温度　400℃対応の高性能メンブレンガスフィルター

GasProTEM-700シリーズは、反応性のガスやハロゲン化マイクロエレクトロニクスガス用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、フィルター材質は0.01ミクロン。大流量で低いデルタPが必要なケース、またスペースが限られているところに最適です。 本体はグラスファイバーとSUS316Lの電解...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-400シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そして...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-300シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そして...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-100シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そして...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-500シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そして...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-200シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そして...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1200

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1500

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1400

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1300

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1100

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1800

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルターTEM-900シリーズ

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部