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反応生成物対応 磁気軸受形複合分子ポンプ TG-MIシリーズ
独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を…
外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温 ■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上!! ■ 主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。 ...【製品の特長】 ○外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上 ○ロータなど主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへの熱ダメージを低減 ○排気...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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吸気口径8~12インチの小型タイプ!ヒータレスで安全な高速再生を実現し…
POWERシリーズの当製品は、実用的な排気性能やマルチ運転での温度安定性を 向上させた高性能型のクライオポンプです。 振動加速度の平均値は従来に比べ約10分の1以下(当社比)。 マルチ運転時に1台のポンプのみ再生しても、極端に起動時間が長くなる ことはなく、運転環境による起動時間の変化を最小限にしました。 【特長】 ■ヒータレスで安全な高速再生を実現 ■実用性に優れた起動...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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