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デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ
デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。【アルバック/ULVA…
デジタル5 軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。 UTM-FH、UTM-FW はデジタル5 軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。 FH シリーズは、高背圧・高圧縮型で、水素圧縮比を向上したライト~ミドルプロセス用に、FW シリーズは、広域・大流量型で、高負荷プロセスやミドル~ハードプロセス用にご利用ください。 【特徴】 ○...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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