エッチャー、アッシャー用マイクロ波電源　入力電源AC400V対応

【新製品】小型・高出力のインバータ式マイクロ波電源。高効率を実現！ C…

『MPS-60W-DC-CE』は小型・高出力のインバータ式マイクロ波発振器です。 直列共振回路技術採用により高効率を実現しました。 電源部・発振部とも完全水冷式。外部空気を取り込まない設計。 電源部と発振部はセパレートタイプです。 【特長】 ■低リップル ■小型・高出力 ■直列共振回路技術採用により高効率を実現 ■完全水冷式。外部空気を取り込みません。 ■電源部と発振...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッシン

ヤマトマテリアル株式会社 事業紹介

消費者の動向から地球環境を考えたビジネス！企画・開発・提案力を重視！

【取扱製品】 〔前工程〕 ■バレル型プラズマアッシャー（R＆D向け） ■縦型バッチ式アッシャー（50枚一括処理） ■コインスタック型ウエハケース　他 〔後工程〕 ■小型プラズマ装置（RIE専用機） ■中型・大型バッチ式プラズマ装置 ■プ...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社