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50枚一括バッチ式プラズマアッシング装置(アッシャー装置)・6インチウ…
高性能装置を低価格でご提供。 アッシングレート:300Å以上、面内均一性:±20%以下、バッチ間均一性:±20%以下、処理能力:150枚/時間(RF0分で算出)。枚葉式アッシャー、エッチャーも低価格でご提供しております。老朽化した装置のレトロフィットもお受けしております。...
メーカー・取り扱い企業: ヤマトマテリアル株式会社
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ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向…
ラズマ装置のラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、 「DP プラズマ処置のしくみ」などもご紹介しています。 当社では、プラズマドライクリーナー、エッチャー(エッチング)、アッシャー(アッシング)の処理目的に合った プラズマ装置を、標準品以外にもカスタムメイドで対応。 企画から提案まで一環してお引き受けしています。 【掲載内容】 ■市場・用途 ■プラズ...
メーカー・取り扱い企業: ヤマトマテリアル株式会社
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最高の加工技術で作られた製品をお客様に提供します。
【加工例】 ◯洗浄装置用処理槽 ◯ウェーハ用キャリアー、ボート、チャック ◯拡散・CVD用炉芯管 ◯エッチャー/アッシャー用ベルジャー ◯各種治工具類 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社インテリンク
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