バッチ式プラズマアッシング装置　ウエハアッシャー装置

50枚一括バッチ式プラズマアッシング装置（アッシャー装置）・6インチウ…

高性能装置を低価格でご提供。 アッシングレート：300Å以上、面内均一性：±20％以下、バッチ間均一性：±20％以下、処理能力：150枚/時間（RF0分で算出）。枚葉式アッシャー、エッチャーも低価格でご提供しております。老朽化した装置のレトロフィットもお受けしております。...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

プラズマ装置 プラズマクリーナー プラズマ洗浄装置カタログ

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向…

ラズマ装置のラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、 「DP プラズマ処置のしくみ」などもご紹介しています。 当社では、プラズマドライクリーナー、エッチャー（エッチング）、アッシャー（アッシング）の処理目的に合った プラズマ装置を、標準品以外にもカスタムメイドで対応。 企画から提案まで一環してお引き受けしています。 【掲載内容】 ■市場・用途 ■プラズ...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

ヤマトマテリアル株式会社 事業紹介

消費者の動向から地球環境を考えたビジネス！企画・開発・提案力を重視！

【取扱製品】 〔前工程〕 ■バレル型プラズマアッシャー（R＆D向け） ■縦型バッチ式アッシャー（50枚一括処理） ■コインスタック型ウエハケース　他 〔後工程〕 ■小型プラズマ装置（RIE専用機） ■中型・大型バッチ式プラズマ装置 ■プ...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社