セミオート・テープマウンター『SMM-100』

テープにウェハーを気泡なく貼れるイーアールエスのダイシング周辺装置をご…

自動でウェハとダイシングテープをテープフレームに 精度良く貼り合わせるセミオート・テープマウンターです。 ウェハに適正な温度が加わるように、テーブルを加熱可能。 テープの帯電防止としてイオナイザーを装備しています またオプションで、指定テープフレーム以外のリングはセットプレートの 交換で対応可能です。 【特長】 ■ウェハに適正な温度が加わるように、テーブルを加熱できる ...

メーカー・取り扱い企業： イーアールエス株式会社

SMOG-HOG　静電式電気集塵装置

SMOG-HOGは静電気を利用して集塵する静電式電気集塵装置です。静電…

集塵機内部主要部品は一定間隔で配列された洗浄交換可能なアルミ合金のプレートで構成されております。 汚染空気はプレフィルターで整流され、一定の通過速度で荷電部（イオナイザー）に送られます。 荷電部の高電圧でプラス静電気を帯電した汚染粒子は集塵部（コレクティングセル）を通過する際にプラス極板の高電圧に反発してマイナス極板に集塵されます。 アフターフィルターに...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社