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ナノ単位で、モールドからワークに複数回に分けて転写する装置。 つくば…
ナノインプリント本体[モールドテーブルαβ調整モールド機構 高精度XYθウエハステージ ウエハ湾曲機構及びXYステージ アライメント顕微鏡×2 恒温恒湿器 イオナイザー マスフローコントローラ×4(TFP、CTFP、窒素、ヘリウム)] UV光源 デジタルカメラ モールドサイズ:□22mm, □50mm, □75mm(有効は70~72mm角) (石英、厚...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ライズワン
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