超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ　DRPシリーズ

スラリーや酸に対する性能が向上したフルオロポリマー製ダイヤフラム・バル…

DRPシリーズは、独自の半球形のバルブ流路デザインとダイヤフラム形状により、バルブ内部における流体の溜り部分を削減させ、接液・接ガス表面を素早く洗浄することができます。特に、スラリーを使用するCMPプロセスにおいては、スラリーの突発的な変化の可能性を低減させるために、流体のせん断の発生を最小限に抑えています。次世代PTFE製ダイヤフラムは、その独自の形状で、作動時の応力を最小化し、耐久性、シールの...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

接液部メタルフリー安全弁

接液部を非金属で構成。強酸、強アルカリなどに最適です。

接液部に金属を使わず、PTFE、PEEK、特殊ゴムで製造した安全弁です。腐食性の強い液体にはもちろん、金属イオンを出さないため、半導体分野にも使用可能です。...仕様 最大圧力　1～5MPa 最大流量　100ml～50L 仕様温度範囲　-30～200℃ ...

メーカー・取り扱い企業： 富士テクノ工業株式会社

中古真空装置・機器販売のご案内

全機種オーバーホールして完全稼動した状態で納品しております

株式会社グリーンテックでは、完全オーバーホールを実施して性能 確認した中古真空機器・装置の販売・メンテナンス及びレンタルを 行っております。 取扱商品はスパッタ装置・真空蒸着装置をはじめとして、Heリークディ テクタ等の計測器や電源・電子銃・真空計・ポンプ等の単品も販売して おりますので、ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【特長】 ■販売品在庫数豊富 ■完全オー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グリーンテック 大阪本社