フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【デモ機貸出可】把持・滑り止めパッド（IonPad）

高速搬送や高精度搬送を実現する、把持・滑り止めパッドです

【把持・滑り止めパッド（IonPad）タイプ】 １：粘着タイプ ガラスやフラットパネルディスプレイの貼り合わせなどにご利用いただけます。 ２：非粘着（滑り止め）タイプ シリコンウェハーの移動時の滑り止めなどにご利用いただけます。 高速搬送時でも多く導入されています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー