RIBER社EZ-CURVE 真空装置In-situ反りモニター

各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精…

整合材料系にも対応可能 6) 数mmまでの厚膜ウェハに対応可能 7) 高い安定性とアライメントフリー測定を実現 8) 白色光源の採用、反射率の変化に影響無し、露光時間の調整が不要。 9) ウェーハの平坦性に影響せず、パターニングされたウェーハでも測定可能 10) 他のソフトウェアとデータを共有可能。 仕様 1) 曲率測定レンジ　0.0008～200,000 Km-1 2) 半径...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

常圧CVD装置「AMAX800V」

優れた膜厚・不純物濃度の均一性。高生産性と低価格を実現した常圧CVD装…

常圧CVD装置「AMAX800V」は、φ200mmウェーハ対応、モノシランガスの反応特性を応用したUSG、PSG、BPSG等の絶縁膜およびシリコン基板の裏面保護膜を形成する連続式常圧CVD装置です。 搬送機構の改良により高スループットを実現しました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社天谷製作所

枚葉式常圧CVD装置『A200V』

装置サイズを可能な限りコンパクト化！安定した成膜処理と低パーティクルを…

『A200V』は、少量多品種から大量生産までカバーするφ150・φ200mm ウェーハ対応の枚葉式常圧CVD装置です。 フェイスダウン式成膜方法の採用により優れた膜厚均一性、パーティクル 制御、埋め込み性能を発揮し、SiH4をベースとしたシリコン酸化膜を成膜。 また、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社天谷製作所