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超高画素 2億5000万画素/1億2700万画素 CXPカメラ
PR超高画素カメラによる広視野角・超高精細な撮像が可能で、各種MV用途に好…
Sony社製 CMOSセンサ(Pregius IMX661/3.6型)を搭載した、1億2700万画素のCoaXPressカメラ「VCC-127CXP6」と、Canon社製CMOSセンサ(Ll8020SAM/APS-H型)を搭載した、2億5000万画素のCoaXPressカメラ「VCC-250CXP1」。どちらも超高解像度を誇り、各種外観検査(液晶・基板・半導体ウエハ・建築物等の欠陥/異物/形状)、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シーアイエス
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PRエア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込…
『KPWシリーズ』は、高圧ポンプに基本的に必要となる周辺機器をセットにして、専用量産装置以外の用途で利用しやすいように整えたユニットです。 エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに適しており、 高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤による剥離等に用います。 【特長】 ■小型な組込用ポンプユ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノメイト
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半導体プロセス中の対象ウエハの放射率をリアルタイムに測定し補正を行うた…
半導体プロセス中のウエハ温度のモニタリングは非常に重要なプロセス・パラメータですが、今まで適切な測定方法が確立できていないために、温度以外のパラメータでプロセス状況を推測してきました。 ウエハ放射率にはロット内でば...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アイ・アール・システム
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