超高画素 2億5000万画素/1億2700万画素 CXPカメラ

PR超高画素カメラによる広視野角・超高精細な撮像が可能で、各種MV用途に好…

Sony社製 CMOSセンサ(Pregius IMX661/3.6型)を搭載した、1億2700万画素のCoaXPressカメラ「VCC-127CXP6」と、Canon社製CMOSセンサ(Ll8020SAM/APS-H型)を搭載した、2億5000万画素のCoaXPressカメラ「VCC-250CXP1」。どちらも超高解像度を誇り、各種外観検査(液晶・基板・半導体ウエハ・建築物等の欠陥/異物/形状)、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シーアイエス

高圧ポンプユニット　KPWシリーズ（組込用）

PRエア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込…

『KPWシリーズ』は、高圧ポンプに基本的に必要となる周辺機器をセットにして、専用量産装置以外の用途で利用しやすいように整えたユニットです。 エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器､エア圧力計､吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに適しており、 高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤による剥離等に用います。 【特長】 ■小型な組込用ポンプユ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

光計測・検査装置『ウエハレベル光素子特性測定装置』

電気・光学特性測定をウエハレベルで解析するシステム

『ウエハレベル光素子特性測定装置』は、VCSELやLEDなどの発光素子、 フォトダイオードや照度センサなどの受光素子の電気・光学特性測定をウエハ レベルで解析するシステムです。 当製品は、セミオ...

メーカー・取り扱い企業： シナジーオプトシステムズ株式会社

ウエハレベル発光素子光学特性測定装置

VCSEL等の発光素子の各種光学特性をウエハレベルで測定・検査！

『ウエハレベル発光素子光学特性測定装置』は、VCSEL等各種発光素子の 電気・光学特性測定をウエハレベルで解析するシステムです。 VCSELの特性計測に必要な電気的特性測定のほか、発光ビームプロフ...

メーカー・取り扱い企業： シナジーオプトシステムズ株式会社

光学式エリアスキャナ「Flying Spot Scanner」

振動の影響を受けずに高速エリアスキャン。オンライン、オフライン、品質管…

　　　ガルバノミラーによるエリアスキャン 　■開発コスト低減、開発納期短縮 　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)あり 　■用途 　　　FPD,LCD用ガラス基板の厚み測定、ウエハのワープ（歪み）測定、レンズ形状検査、 　　　PCBボード形状検査、小型精密部品の高さ測定など ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

リアルタイム放射率補正型半導体プロセス温度モニター

半導体プロセス中の対象ウエハの放射率をリアルタイムに測定し補正を行うた…

半導体プロセス中のウエハ温度のモニタリングは非常に重要なプロセス・パラメータですが、今まで適切な測定方法が確立できていないために、温度以外のパラメータでプロセス状況を推測してきました。 ウエハ放射率にはロット内でば...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・アール・システム

高速カメラ『CHRomatic Vision Camera』

インライン向けの高速で、高精度な外観検査用のラインカメラです。ウエハ検…

『CHRomatic Vision Camera』は、高速な外観検査用のラインカメラです。 　色収差共焦点原理を利用しているため、焦点深度が最大3mmと広いタイプです。 焦点合わせが不要となり、フラットでない凹凸面でも高コントラストな画像が取得できます。２次元画像が得られます。また、最大140kHzの高速スキャンにより、インラインでの外観検査（クラック、スクラッチなどの形状欠陥、異物検査）...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

IVL測定モジュール『PMD002/IVL』

18mm角大口径フォトダイオードのセンサを使用！広い放射角をカバーでき…

ッドは、単体での使用の他、 当社製高機能NFP計測光学系M-Scope type Sの 対物レンズレボルバにも装着が可能です。 また、プローバへの搭載・組合せによって、 VCSEL等のウエハレベルIVL測定にも使用できます。 【特長】 ■18mm角大型Siフォトダイオードを使用、広いN.A.をカバー ■減光フィルタの併用で広い測定パワーレンジ ■当社製高機能NFP計測光学...

メーカー・取り扱い企業： シナジーオプトシステムズ株式会社

偏光測定モジュール『PMD002/POL』

空間光測定対応！各種光ファイバやLDの他、VCSELのウエハレベル測定…

ます。 対物レンズを使用すれば、光ファイバや半導体レーザの出射偏光状態を測定できます。 また、偏光測定センサヘッドは、単体での使用の他、プローバへの 搭載・組合せによって、VCSEL等のウエハレベル偏光測定にも使用できます。 【特長】 ■高速かつ高い分解能・再現精度で偏光消光比測定が可能 ■パルス回転ステージにより偏光子の回転を制御、高い角度精度 ■対物レンズの装着が可能 ...

メーカー・取り扱い企業： シナジーオプトシステムズ株式会社