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ウェハをチャンバー内でウォータージェットにより1枚ずつ剥離分離する装置
「ウエハ剥離洗浄装置 ME-5700」は、ウエハを手動で搬送アームにセットし、チャンバー内でウォータージェットにより、1枚ずつ剥離分離後、手動で回収する装置です。外形寸法はL1300×W1200×H2100です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
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