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開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命…
エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 -低ショック...
メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社
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