【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

ロータリーダイシリンダー、ロータリーダイユニット＜テスト受付中＞

PR安定した切れ味と長寿命化を実現。高剛性ダイユニットは刃先のクリアランス…

当社は、紙からチタンまで様々な素材を加工する 技術と製品を有し、多岐にわたる事業を展開しています。 主力製品の1つとして製造を手掛ける「ロータリーダイシリンダー」は、 高精度マシニング加工と独自製法により、安定した切れ味と長寿命化を実現。 印刷、食品包装、医薬品包装、電池、半導体製造など 幅広い分野で採用されており、お客様の生産性向上に貢献しています。 また、本製品を搭載した「...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三條機械製作所

WETプロセス装置　枚葉スピンプロセッサー

装置を複数台配置することにより、容易にマルチプロセスを実現可能です。

ンプロセッサーは、基板をスピン回転及びスプレーにて洗浄/リンス後、高速スピン回転で乾燥を行ないます。 装置を複数台配置することにより、容易にマルチプロセスを実現することができます。（例：現像→エッチング→洗浄、乾燥） 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

粉体に表面処理！減圧プラズマ粉体表面改質装置

プラズマ処理で粉体に親水性を付与！粉体の均一な混練・混合、液中への分散…

分散剤を使用せずとも分散効果・親水性付与。 ●PTFE粒子　⇒　撥水性が高いPTFE粒子にも親水性を付与。 ●活性炭粒子　⇒　粗面化処理による表面積拡大で吸着能力アップ。 ●Ni粒子　⇒　エッチング処理で表面形状変化。 ※可能性を秘めた新たな技術です。詳しくはPDFをダウンロードもしくは、お問い合わせ下さい。 【展示会に出展します】 展示会名：粉体工業展2017 会期：20...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

応用例付きプラズマ技術資料　無償ダウンロード！

基板、樹脂、粉体、医療、半導体…。あらゆる分野で使えるプラズマ技術の応…

アプリケーション】 ■ドライクリーニング (分解除去処理) ■表面改質処理 　　親和性向上(親水化) / 撥水性向上 / 接着性向上 ■半導体・液晶デバイス 微細加工向け 　　絶縁膜 エッチング / レジスト アッシング ■低温焼結 ■滅菌 ※詳しくは技術資料をご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

WETプロセス装置　LCD枚葉エッチング装置

LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行いま…

WETプロセス装置 LCD枚葉エッチング装置は、LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

WETプロセス装置　マルチスピンプロセッサー

スピン＆スプレーを併用し、高精度で均一なプロセスを実現しました。

WETプロセス装置 マルチスピンプロセッサーは、基板をスプレー方式にて現像/エッチング/乾燥処理を行ないます。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

【粉体工業展 出展】粉体に表面処理！減圧プラズマ粉体表面改質装置

プラズマ処理で粉体に親水性を付与！粉体の均一な混練・混合、液中への分散…

分散剤を使用せずとも分散効果・親水性付与。 ●PTFE粒子　⇒　撥水性が高いPTFE粒子にも親水性を付与。 ●活性炭粒子　⇒　粗面化処理による表面積拡大で吸着能力アップ。 ●Ni粒子　⇒　エッチング処理で表面形状変化。 ※可能性を秘めた新たな技術です。詳しくはPDFをダウンロードもしくは、お問い合わせ下さい。 【展示会に出展します】 展示会名：粉体工業展2017 会期：20...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

【粉体に付加価値！】真空プラズマ粉体攪拌処理装置

微粒子を均一にプラズマ表面改質し、粉体へ様々な機能を付加します！

分散剤を使用せずとも分散効果・親水性付与。 ●PTFE粒子　⇒　撥水性が高いPTFE粒子にも親水性を付与。 ●活性炭粒子　⇒　粗面化処理による表面積拡大で吸着能力アップ。 ●Ni粒子　⇒　エッチング処理で表面形状変化。 ※可能性を秘めた新たな技術です。一度カタログをご覧の上、お問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

WETプロセス装置　LCDカセット洗浄装置

圧縮エアーとスピン回転の併用により高レベル乾燥を実現しました。

により乾燥を行なう 【WET関連装置】 ○マルチスピンプロセッサー ○枚葉スピンプロセッサー ○枚葉基板洗浄装置 ○LCDマスク洗浄装置 ○LCDカセット洗浄装置 ○LCD枚葉エッチング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

WETプロセス装置　LCDマスク洗浄装置

マスクをブラシ・USスプレーで洗浄、高速スピン回転で乾燥します。

により乾燥を行なう 【WET関連装置】 ○マルチスピンプロセッサー ○枚葉スピンプロセッサー ○枚葉基板洗浄装置 ○LCDマスク洗浄装置 ○LCDカセット洗浄装置 ○LCD枚葉エッチング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

WETプロセス装置　枚葉基板洗浄装置

基板を水平搬送にて、各種洗浄、乾燥処理を行います。

、乾燥処理を行なう 【WET関連装置】 ○マルチスピンプロセッサー ○枚葉スピンプロセッサー ○枚葉基板洗浄装置 ○LCDマスク洗浄装置 ○LCDカセット洗浄装置 ○LCD枚葉エッチング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研