ルテニウムエッチング液『RECシリーズ』

PR半導体デバイスやフォトマスクの材料として使用されるルテニウム用エッチン…

DRAMのキャパシタ電極やフォトマスクに使われるRu膜に対応したエッチング液です。 【特徴】 ■REC-01はRu膜を短時間でエッチングでき、RuO2もエッチング可能 ■REC-11はRuO4ガスの発生を抑制でき、ウェーハの金属汚染が少ない ■REC-11は数nm～のRu薄膜のエッチングに好適 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...■REC-01:　高エッチングレート ■REC-11...

メーカー・取り扱い企業： 関東化学株式会社 電子材料事業本部

乾燥スピードが水の100倍！　安全に作業できる洗浄剤『アモレア』

PR『ＡＭＯＬＥＡ（アモレア）』は乾燥工程が短縮でき、不燃性で作業環境濃度…

「地球」を考える「化学」の時代。ＡＧＣが提案する新製品！フッ素系溶剤『AMOＬEA（アモレア）』ATシリーズは、環境規制に適応、安全で使いやすい次世代型洗浄剤です。限定２０社に評価用サンプル無償提供中です！ 【特長】 ■環境対応…オゾン破壊係数（ODP）がゼロ、地球温暖化係数（GWP）も小さく、地球環境に配慮した洗浄剤です。 ■洗浄力…KB値60以上の優れた洗浄力で、精密・金属部品の脱脂...

メーカー・取り扱い企業： ＡＧＣ株式会社 化学品カンパニー

レーザーエンドポイントモニター『SLI 670』

透過膜のエッチングや成膜のIn-situでの膜厚モニターに！スポットサ…

『SLI 670』は、波長が670/980nmのプラズマ装置用 エンドポイントモニターです。 プラズマ装置の上部の窓からレーザービームを照射し サンプルからの反射光を測定し膜厚を測定します。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■波長：670/980nm ■スポットサイズ：100μm ■モーター駆動ステージ ■反射率、干渉モード ※詳しくはP...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ