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PR半導体デバイスやフォトマスクの材料として使用されるルテニウム用エッチン…
DRAMのキャパシタ電極やフォトマスクに使われるRu膜に対応したエッチング液です。 【特徴】 ■REC-01はRu膜を短時間でエッチングでき、RuO2もエッチング可能 ■REC-11はRuO4ガスの発生を抑制でき、ウェーハの金属汚染が少ない ■REC-11は数nm~のRu薄膜のエッチングに好適 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...■REC-01: 高エッチングレート ■REC-11...
メーカー・取り扱い企業: 関東化学株式会社 電子材料事業本部
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PR幅広い材質に対応できる低圧タイプや、インライン設置が可能な大気圧タイプ…
当社では、半導体分野をはじめとする現場で数多くの導入実績を持つ Diener Electronic社製の『低圧・大気圧プラズマ装置』を販売しています。 取り扱いが簡単で低価格な実験用の小型製品から パワフルな処理能力を備えた大型機まで幅広くラインアップ。 低圧タイプ、大気圧タイプともに豊富なモデルを揃えており、 研究開発や少量生産などお客様のニーズに合わせた選択が可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業: テクノアルファ株式会社
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ウエハーセンス サイバーオプティクス製 製造装置改善用測定センサ
ウエハーセンスは装置改善に好適な測定器です。客観的な測定を行い、改善効…
オートティーチングシステム(ATS2) ウエハと同じように配置され、ウエハーの位置座標データ(XYZ)を高精度に測定します。 ◆オートギャップ測定システム(AGS) PECVDやドライエッチング、スパッタリング装置などの半導体プロセスチャンバーに使える真空互換性のある非接触ギャップ測定による平行性調整を実現 ◆オート振動システム(AVS) プロセス装置の中を自動搬送させて3軸の...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社スズキ
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面状発熱体 『ポリイミドヒーター』
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複合材料MMCの接合技術により、新たな用途への展開が可能になり…
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AGC株式会社 化学品カンパニー -
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アンドールシステムサポート株式会社 自動テストソリューション事業部