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【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化(No.2220)
PR【試読できます】-成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄-
書籍名:先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 --------------------- ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか! 新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 --------------------- ■ 本書のポイント 1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社技術情報協会
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PRR&D用特殊仕様から量産向けまで対応可能!一般的なグリッドと比較して約…
当社で取り扱う、「イオンビームエッチング(IBE)・成膜装置(IBD)」を ご紹介いたします。 標準的なエントリーモデルから、膜厚均一性等の精密な制御が可能な ハイエンドモデルまでラインアップ。企業、アカデミアでの研究開発向けに、 グローブボックス付属等の特殊仕様にも対応します。 また、R&Dのラボスケールから量産まで対応し、難エッチング材料のエッチング プロセスや、デュアルイ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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【PLAZMARK活用事例】半導体メーカー パッケージング部門
作業効率が飛躍的に改善!低コストで頻繁に評価でき品質も向上した事例
カーのパッケージング部門生産部が 『PLAZMARK Arクリーニング用』を導入した事例をご紹介いたします。 ワイヤーボンディング前のプラズマクリーニングの効果の確認が必要で、 Auのエッチングレートによる管理をしていますが、装置が高価、測定は面倒、 誰でもできるというものではなく、試験片が高価という課題がありました。 当製品の導入によって、作業効率が飛躍的に改善。数ヶ月に1度...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サクラクレパス PI事業部
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法規制に非該当でも高性能な洗浄剤『AMOLEA AS-300』
『AMOLEA(アモレア)』は乾燥工程が短縮でき、不燃性で作業…
AGC株式会社 化学品カンパニー -
溶接繋ぎ目検出センサー(金属検出・磁性非磁性判別に応用可能)
渦電流を利用して溶接部分の検知を行います。 渦電流なので表面…
株式会社マコメ研究所 (MACOME) 本社