【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

法規制に非該当でも高性能な洗浄剤『ＡＭＯＬＥＡ ＡＳ-３００』

PR『ＡＭＯＬＥＡ（アモレア）』は乾燥工程が短縮でき、不燃性で作業環境濃度…

「地球」を考える「化学」の時代。ＡＧＣが提案する新製品！フッ素系溶剤『ＡＭＯＬＥＡ（アモレア）ＡＳ-３００』は、各種法規制や環境規制に非該当、安全で使いやすい不燃のフッ素系洗浄剤です。 【特長】 ■環境対応…地球温暖化係数（ＧＷＰ）１未満で、地球環境に配慮した洗浄剤です。 ■洗浄力…ＫＢ値４８の優れた洗浄力で、精密・金属部品の脱脂洗浄に使用可能。可燃性溶剤や臭素系、塩素系溶剤の代替として...

メーカー・取り扱い企業： ＡＧＣ株式会社 化学品カンパニー

スピン洗浄装置　スピナー MSC-200型

小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能！

重視し開発されている製品です。研究所、学校等に使用して頂く実験用のマニュアルスピンナーです。主にシリコンウェハー（ガリ砒素、ガラス、セラミック）等のレジストコーティングをはじめとして、現像装置、エッチング装置、剥離装置、スピン乾燥装置等の応用も可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』

カスタマイズOK！素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可…

【ラインアップ】 『RCAウエハ洗浄装置』のほかにも多数ラインアップしています。 ■自動ウエハ洗浄装置 ■自動エッチング装置 ■自動基板用現像装置 ■自動ウエハレジスト塗布装置 ■自動角型基板レジスト塗布装置 ■自動レジスト塗布現像装置 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　ディップタイプ

【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗…

ボットで各処理を実行 ○最終洗浄終了後、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥実行 ○カセットtoカセットの洗浄機 ○薬液の種類により材質の変更製作可 ○搬送スピードが高速な為、各種エッチング装置にも対応可(500mm/sec) ○枚葉式の為エッチングムラも少ない ○レジストの剥離などにも優れた洗浄能力を発揮 ○ワークサイズ：～□400mm、～φ12インチ ●詳しくはお問...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』

カスタマイズOK！素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可…

【ラインアップ】 『RCAウエハ洗浄装置』のほかにも多数ラインアップしています。 ■自動ウエハ洗浄装置 ■自動エッチング装置 ■自動基板用現像装置 ■自動ウエハレジスト塗布装置 ■自動角型基板レジスト塗布装置 ■自動レジスト塗布現像装置 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社