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PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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温度管理、廃液選択機能が搭載!多目的処理装置
可能(写真はテフロン+PVCボディー) =============================================== <仕 様> ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチ エッチング液…酸、アルカリタイプ オプション…廃液選択2〜4液、薬液用ノズル等 電源…AC100v or 200v CDA…0.5MPA.以上 DIW.…0.2MPA.以上 その他...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社トービ
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