完全自動微量金属汚染物質回収装置『NAC-316』

ICP-MSに対して完全自動立上げ機能持っています

『NAC-316』は、Siウェーハのバルクエッチング機能を持った 完全自動微量金属汚染物質回収装置です。 ICP-MSに対して未経験者でも、分析結果を取得可能。 また、ロードポートを2台持っているため、作業効率は非常に良くなり、 インライン接続（OHT）も可能です。 【特長】 ■親水性ウェーハ・親水性ウェーハ何れも回収が可能 ■ロードポートにセットされたウェーハを自動でバルク...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社NAS技研