高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

完全自動微量金属汚染物質回収装置『NAC-316』

ICP-MSに対して完全自動立上げ機能持っています

『NAC-316』は、Siウェーハのバルクエッチング機能を持った 完全自動微量金属汚染物質回収装置です。 ICP-MSに対して未経験者でも、分析結果を取得可能。 また、ロードポートを2台持っているため、作業効率は非常に良くなり、 インライン接続（OHT）も可能です。 【特長】 ■親水性ウェーハ・親水性ウェーハ何れも回収が可能 ■ロードポートにセットされたウェーハを自動でバルク...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社NAS技研