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PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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高度な制御、精密な加工。Cuエッチング、レジスト剥離、ガラス研磨、パフ…
当社の「液晶ディスプレイ向け薬液開発」について、ご紹介いたします。 顧客要望に合わせ角度・速度調整が可能な「Cuエッチング液」や、 剥離力、下地へのダメージ調整が可能な「レジスト剥離液」などを開発。 ローリー、IBC、ドラム、一斗缶等希望荷姿に加え場内再生設備での リサイクル運用も可能です。(レジスト剥離液) 【...
メーカー・取り扱い企業: パナソニック環境エンジニアリング株式会社 本社
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