サーマル式ALD原子層堆積装置

ALD装置。小型・低価格で、原子レベルの堆積制御で精確な厚さ実現！

ーンな排気。 ●使いやすい 新たなオプションが加わり、さらに多彩な成膜が可能 LVPD（低蒸気圧プリカーサー供給）システム SAMｓ（自己組織化単分子膜）　　　 その場計測（エリプソ、QCM） ●LavVIEWを使用した分かりやすい操作システム、標準的レシピの提供 本ALD装置の詳細については、お気軽にご相談下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ