【事例】チラー導入事例集ー半導体・電子電気業界編/アピステ

スパッタ・エッチング装置の冷却やレーザー発振器の冷却などに！

当資料は、当社の高性能チラー『PCU-SLシリーズ』を使用した 半導体・電子・電気業界向けアプリケーションガイドです。 様々な従来の問題をはじめ、スパッタ・エッチング装置の冷却、 レーザー発振器の冷却、などのアプリケーションについて イラストとともにご紹介。 ぜひ、ご活用ください。 【掲載内容】 ■真空蒸着装置の冷却 ■スパッタ・エッチング装置の冷却 ■半導体デバイス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピステ