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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR基板の外形加工をルーターカット方式で行える卓上型の基板分割機です。集塵…
基板の外形加工をルーターカット方式で行える卓上型の基板分割機です。 上方式、下方式と2タイプの集塵方式をご用意。 【主な特長】 ■集塵機の設置が不要でイニシャルコスト削減 ■卓上型で省スペースを実現 ■高性能ロボットのCP制御で曲線・直線のカットも可能 ■基板へのストレスが少なく、きれいな切断面を実現 ■==下方集塵式の新機能== ・ルータビット数倍長持ち ・スピンドルモ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジャノメ
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365nm/385nm/395nm/405nmの各種波長に対応!幅広い…
広いアプリケーション で利用。 365~405nmの幅広い波長、1Wから30W以上の高い出力、サーフェスマウント (SMT)タイプおよび大電流・超ハイパワーのコアボードのパッケージ オプションなど、お客様のニーズに応える“光”を提供します。 【特長】 ■高出力を提供し、様々なアプリケーションに対応 ■365nm/385nm/395nm/405nmの各種波長に対応 ■表面実...
メーカー・取り扱い企業: 丸文株式会社
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株式会社マツイ 東京本社