ウエハエッジ検査機

計測分解能を下げずに他社に比べて低価格！

ウエハ外周全周の端面と上下面の3面を同時に撮影して傷・異物・クラック・チップ欠陥の検査をします。 検査ウエハを吸着してカメラでノッチ／オリフラなどのウエハ形状を認識して最適な駆動制御をします。 新開発のトリプル光学系とインテグレイト照明が画像処理に最適な照明を実現しました。 検査時間は1枚に10秒と高速です。 外部通信機能でこのま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

ウエハエッジ検査機　WEG3000

トリプル光学系とインテグレイト照明で最適照明を実現！

【特長】 1. エッジ部3面の同時検査可能 2. 欠陥と異物の識別機能 3. トリプル光学系とインテグレイト照明で最適照明を実現 4. オリフラ部を含めた全集検査が可能 5. ウエハ全周撮像と欠陥部レビューファイル機能 ◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 　ご興味のある方はカタログをダウンロード...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

ウエハ欠陥自動検査機　WEG8000

カセットtoカセット方式のウェハエッジ自動検査機です。

【特長】 1. エッジ部3面の同時検査可能 2. 欠陥と異物の識別機能 3. トリプル光学系とインテグレイト照明で最適照明を実現 4. オリフラ部を含めた全集検査が可能 5. ウエハ全周撮像と欠陥部レビューファイル機能 ◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 　ご興味のある方はカタログをダウンロード...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック