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大電流/高電圧プロービングが可能!ウェハ両面(ダブルサイド)へのコンタ…
ウェハの反りに対しても効果的な位置補正が可能。 ウェハ裏面のドレイン側でケルビン接続を行い、そのドレインセンス位置と ウェハ表面のソースセンス位置とを合わせることで正確なRDS(on)(オン抵抗)の 測定をすることができます。 【特長】 ■セラミックブレードによるウェハクランプ方式により、 大電流/高電圧プロービングが可能 ■1チップ内の複数ポイントでプロービングが可能 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社プラムファイブ
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