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半導体製造プロセスに不可欠な高純度シリカガラス製品
学変化を起こさない、高純度のシリカガラス製品 【特徴】 ○CVD、拡散用各種炉芯管をはじめさまざまな機器・冶具に最適 ○半導体製造工程に必要なあらゆる石英製品をラインナップ ・オーバーフロー槽 薬液処理のウェハー洗浄工程で使用され、 12インチ対応製品を含め多様なニーズに対応 ・横型ボート ウェハーの洗浄、反応プロセスに使用される石英ボート ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フェローテックホールディングス
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