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PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能
前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 (成膜、エッチング・アッシング、アニール) カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成(ロードロックタイプ、インラインタイプなど)をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。(加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他) ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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【液剤の節約に】微細粒子で均一に塗布することで、従来方式に比較して液剤…
一に塗布することができる特長があり、 従来方式に比較して、液剤の消耗量が大きく低減できます。 また二流体方式外部混合ノズルを採用しており、噴霧以外にエアーブローもできますから、 スプレイカセットの構成が非常にシンプルで、装置の軽量化にも貢献できます。 ■『アトマックスノズル』が選ばれるポイント ・【独自技術・シンプル構造】:高粘度・スラリーでも目詰まりがありません。 ・【高性能...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アトマックス
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