大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

シール

密封、摩擦低減、異物の除去

で、様々な要件に合わせて設計されます。 【パワートランスミッション・シール】 ● ラジアルシャフトシール: 回転部品と固定部品との間、または相対運動をする2つの部品間で使用します。 ● カセットシール: グリースまたはオイルを確実に封入できるように設計が最適化されています。液体または固体汚染物質の侵入から、最大限保護します。 ● Vリングシール: アキシアルシャフトシールで、 全ラバー...

メーカー・取り扱い企業： 日本エスケイエフ株式会社