大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

全自動連続焼鈍装置『TE-9815』

還流ファン方式を採用！炉内の温度分布を均一に保ちます

『TE-9815』は、ハードディスクアルミニウム基板製造ラインの 専用カセット収納サブストレートエージング自動化装置です。 炉内の温度分布を均一にするため、還流ファン方式を採用。 炉内、コンベア部はワークに衝撃振動を与えることなく搬送します。 【特長】 ■ク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーテック 城岡工場