ウエハ吸着テーブル用クリーニング材『クリーニングウエハ 』

簡便・確実にウエハ裏面に接する部位の微小異物を捕集できるウエハ

は、半導体製造装置のロボットアームやチャックテーブルに 付着した異物を捕集するウエハ状クリーニング材『クリーニングウエハ 』を 取り扱っております。 クリーニング層面を下側にして、ウエハカセットにセットし、 装置内を自動搬送するだけでトラブルの原因となる微小異物を 捕集できるので、装置稼働率が大幅に向上します。 【特長】 ■ダミーウエハの片面に異物捕集性と自動搬送性とを兼備え...

メーカー・取り扱い企業： 日東電工株式会社 東京支店