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【デモ機貸し出し可能!】処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理す…
本機は手動でカセットの入ったバスケットをハンガーに取付、処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置になります。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エ…
本機はウエハーの洗浄、エッチング処理を行う装置です。 カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エッチングを行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しウエハ搬送!
供することが出来ます。 『自動ウエハ洗浄装置』は、枚葉式のウエハ自動エッチング装置です。 ウエハ搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーはFOUPまたはカセット式が有ります。 【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象 ○ローダーより多関節ロボットを使用 ○各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理 詳しく...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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