大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ME-100 3次元実装用マニュアルタイプウエハケミカル洗浄装置

3次元実装用マニュアルタイプのウエハケミカル洗浄装置です！

トル）あれば設置可能と経済的です。 純水リンスはカスケード方式による純水使用量を抑えた低コストです。 ケミカル温度をコントロールが可能です。 比抵抗計によりリンス効果を判断します。 ウエハカセットは傾斜を持たせ、ウエハ表面側に液残留を防止します。 将来、２槽（下部タンク共）追加可能なスペースを確保しています。 エアーガン付です。 シャワーノズルでケミカル槽を簡単洗浄出来ます。...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター