4ポートソーター

カセットステージ4ポートを持つ！6・8インチウェハ対応の装置をご紹介し…

当製品は、カセットステージ4ポートを持ち、ウェハID読取りによる ソート機能を搭載した装置です。 1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの 統合移載が可能。 工場システムと連携...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上式ウェハ移載装置

6.8インチSEMI規格ウェハ対応！基本移載パターンが選択できる装置を…

当製品は、カセットが通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応可能で相互間で移し替えることができる装置です。基本移載パターンは、同一スロット移載、スロット上下逆転移載、指定スロット移載などが選択可能。また、オプシ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

高速型4ポートソーター

4ポートソーターを高速化しスループットを向上！6・8インチウェハ対応で…

当製品は、4ポートソーターを高速化し、スループットを向上させた装置です。 全てのカセットステージが昇降機能をもち、取出し用と収納用のロボット 2台によるソーティングを行います。 また、1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの 統合移載が可能。 工場シ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

TAIKOウェハ対応反転移載装置

反転記載もできる！8インチタイコウェハ対応の装置をご紹介します。

当製品は、エッジグリップハンドによりウェハ中央部の研削部位に 接触することなく移載できる装置です。 研削面を下から上に、あるいはその逆の反転記載も可能。 カセットは通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応しており、 相互間で移し替えることができます。 【特長】 ■8インチタイコウェハ対応 ■研削面を下から上に、あるいはその逆の反転記載も可能...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社