- 製品・サービス
2件 - メーカー・取り扱い企業
企業
34件 - カタログ
243件
絞り込み条件
-
-
金属汚染のない半導体用の洗浄装置!単式蒸気噴射音速ノズル搭載
ル ■アルキメデス制御方式 ■EFEM(搬送系) ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■チャンバ数:2チャンバ ■ウエハ口径:150,200mm対応 ■カセット数:2カセット ■用 力:DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲:0.05-0.2MPa ■本体外形寸法:1100(W)× 1800(D)× 2000(H) ※詳しくは、お気軽にお問...
メーカー・取り扱い企業: HUGパワー株式会社
-
-
薬液洗浄工程をなくすことでウエットベンチの設置面積を削減可能!
置 ■高濃度オゾン水発生装置 ■加熱ユニット 【仕様】 ■チャンバ数:2チャンバ(プラズマ処理1チャンバ、オゾン水1チャンバ) ■ウエハ口径:150, 200, 300mm対応 ■カセット数:2カセット ■用 力:DIW、N2、O2、CO2、CDA ■本体外形寸法:1100(W)× 2050(D)× 2000(H) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: HUGパワー株式会社
- 表示件数
- 60件
- < 前へ
- 1
- 次へ >
※このキーワードに関連する製品情報が登録
された場合にメールでお知らせします。