ウエハチップ自動搬送・自動撮影システム『YATシリーズ』

顕微鏡メーカーを問わず搬送可能！

自動ステージとの組合せでフルオート搬送でき、マニュアル搬送モード 単体機としても搬送可能です。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【特長】 ■専用ソフトウエアによるカセット単位での完全自動搬送 ■搬送側での測定ウエハの選択・マニュアル搬送可能 ■ウエハ検出システムにより無駄のないタクトを実現 ■自動ステージ・カメラ制御による25枚自動撮影可能 ■ウエハ以外で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤマトハンズ