自動赤外顕微鏡

ウエハ表面に可視でAFフォーカス！赤外顕微鏡でパターン寸法を画像…

製の 『自動赤外顕微鏡』を取扱っています。 当製品は、8”貼り合わせウエハの表面に可視でAFフォーカスして 赤外顕微鏡でSi内部パターンのパターン寸法を画像測定します。 2カセット、エッジグリップチャック、エッジアライナを搭載しています。 【特長】 ■対象ウエハ 8” ■2カセット ■位置決め精度±1μm ■軸ズレ測定±0.5μm ■線幅測定 0....

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社